标准详情
| 标准名称： | 微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法 |
|---|---|
| 标准号： | GB/T 42158-2023 |
| 中国标准分类号： | L59 |
| 发布日期： | 2023-03-17 |
| 国际标准分类号： | 31.080.99 |
| 实施日期： | 2023-07-01 |
| 技术归口： | 全国微机电技术标准化技术委员会 |
| 代替标准： | |
| 批准发布部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 标准分类： | 半导体分立器件电子学其他半导体分立器件 |
内容简介
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。本文件描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构，并给出两种结构几何形状的测量示例。本文件中沟槽结构的深度为1μm~100μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5um~150um、深宽比为0.0067~20。棱锥式针结构具有三个或四个面，其高度、横向宽度和纵向宽度为2μm或更大，并且外轮廓尺寸可包含于边长为100μm的立方体内。本文件适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。
起草单位
苏州市质量和标准化院、苏州揽芯微纳科技有限公司、苏州市标准化协会、深圳市中图仪器股份有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、深圳市道格特科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、东南大学、美满芯盛（杭州）微电子有限公司、四川富生电器有限责任公司、中国合格评定国家认可中心、
起草人
张硕、顾枫、俞骁、周再发、许百宏、许克宇、李根梓、沈俊杰、王敏锐、贾建国、王志远、刘志广、
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