标准详情
| 标准名称： | 微机电系统（MEMS）技术 术语 |
|---|---|
| 标准号： | GB/T 26111-2023 |
| 中国标准分类号： | L59 |
| 发布日期： | 2023-05-23 |
| 国际标准分类号： | 31.080.99 |
| 实施日期： | 2023-09-01 |
| 技术归口： | 全国微机电技术标准化技术委员会 |
| 代替标准： | 代替GB/T 26111-2010 |
| 批准发布部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 标准分类： | 电子学半导体分立器件其他半导体分立器件 |
内容简介
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
起草单位
中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、无锡华润上华科技有限公司、北京航空航天大学、天津大学、西安现代控制技术研究所、北京晨晶电子有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、广州JianCe检测股份有限公司、杭州左蓝微电子技术有限公司、华东光电集成器件研究所、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司、西安知微传感技术有限公司、北京大学、中国科学院空天信息创新研究院、上海交通大学、北京航天控制仪器研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、天津新智感知科技有限公司、中国科学院微电子研究所、南京高华科技股份有限公司、广州奥松电子股份有限公司、江苏普诺威电子股份有限公司、
起草人
顾枫、宋秀敏、张大成、夏长奉、张卫平、胡晓东、刘奎、熊斌、崔波、陈得民、李晓波、SHUMINZHANG、杨飞、高峰、李根梓、孙立宁、夏善红、董全林、刘会聪、邢朝洋、张永斌、张威、王玮冰、明志茂、张宾、张胜兵、
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