标准详情
| 标准名称： | 电子特气 一氧化氮 |
|---|---|
| 标准号： | GB/T 42721-2023 |
| 中国标准分类号： | G86 |
| 发布日期： | 2023-08-06 |
| 国际标准分类号： | 71.100.20 |
| 实施日期： | 2024-03-01 |
| 技术归口： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 代替标准： | |
| 批准发布部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 标准分类： | 化工技术化工产品工业气体 |
内容简介
国家标准《电子特气 一氧化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。本文件规定了一氧化氮的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的电子用一氧化氮。
起草单位
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起草人
施旖旎、付梦月、焦培培、郭琼、袁瑞玲、邵治平、金向华、孙猛、曹雪枫、汤萍、马彬淇、杜大艳、袁有录、王小波、边鲁宁、阳辉、吴靓、方华、高艳秋、郝萍、张金波、杨金山、杨康、黄辉、吴慧明、兰锋、王晶、李倩、宫兵、王大为、吴乾康、梁永强、马昌宁、赵刚、陈辉、刘颖、张天泽、李翔宇、傅铸红、陈艳珊、廖恒易、茹高艺、牛艳东、李长健、曹小林、方强、尹爱华、常侠、汪正宏、陈洁、王昭彬、于庆伟、王德发、张体强、秦远望、何波、韩一松、毛玲玲、尚柏羊、耿朝曦、董硕、顾大正、杨利、钱叶超、梁成科、高静、赖晓峰、周鹏云、
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