标准详情
| 标准名称： | 碳化硅单晶抛光片 |
|---|---|
| 标准号： | GB/T 30656-2023 |
| 中国标准分类号： | H83 |
| 发布日期： | 2023-03-17 |
| 国际标准分类号： | 29.045 |
| 实施日期： | 2023-10-01 |
| 技术归口： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 代替标准： | 代替GB/T 30656-2014 |
| 批准发布部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 标准分类： | 电气工程半导体材料 |
内容简介
国家标准《碳化硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于生产电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。
起草单位
北京天科合达半导体股份有限公司、南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院物理研究所、安徽长飞先进半导体有限公司、
起草人
陈小龙、彭同华、刘春俊、李素青、郑红军、杨建、佘宗静、王波、郭钰、娄艳芳、骆红、钮应喜、
以上仅展示部分信息，如需检测请联系在线工程师。
