SEM-EDS检测项目
- 表面微观形貌观察 - 用于分析样品表面平整度、粗糙度及微观缺陷特征
- 断口形貌分析 - 判断材料断裂模式为韧窝断裂、解理断裂或沿晶断裂
- 微区元素成分定性分析 - 确定样品特定微区中含有的元素种类
- 微区元素成分定量分析 - 计算特定微区中各元素的质量百分比或原子百分比
- 元素面分布分析 - 观察元素在选定区域内的空间分布均匀性
- 元素线分布分析 - 沿选定直线路径分析元素浓度变化趋势
- 夹杂物成分分析 - 鉴别钢中非金属夹杂物的类型和来源
- 镀层厚度测量 - 通过截面分析计算镀层或涂层的实际厚度
- 颗粒尺寸测量 - 测量粉体或颗粒材料的等效直径及粒径分布
- 相组成分析 - 结合形貌和成分信息区分材料中不同相
- 孔隙率分析 - 统计材料截面或表面孔隙面积占比
- 晶界腐蚀分析 - 观察晶界处腐蚀形貌及腐蚀产物分布
- 异物成分鉴定 - 鉴别产品表面或内部异物的元素组成
- 界面扩散分析 - 分析涂层与基体界面处元素的扩散行为
- 失效部位分析 - 定位并分析材料失效部位的微观特征及成分变化
- 磨损表面分析 - 观察磨损痕迹形貌并分析磨屑成分
- 氧化层分析 - 测定表面氧化层厚度及元素分布
- 焊点界面分析 - 检查焊点界面金属间化合物的形貌和成分
- 纤维形貌分析 - 观察纤维表面及截面形貌特征
- 薄膜成分分析 - 分析薄膜材料中各元素的组成比例
检测范围
- 金属材料断口形貌分析样品
- 碳钢微观组织分析样品
- 不锈钢夹杂物检测样品
- 铝合金微区成分分析样品
- 钛合金相变分析样品
- 铜合金微观结构分析样品
- 高温合金析出相分析样品
- 陶瓷材料断口分析样品
- 玻璃材料缺陷分析样品
- 半导体器件截面分析样品
- 电子元器件焊点分析样品
- 印刷电路板失效分析样品
- 矿物成分分析样品
- 岩石微观结构分析样品
- 催化剂颗粒形貌分析样品
- 粉体材料粒度形貌分析样品
- 纳米材料微观形貌分析样品
- 涂层截面成分分析样品
- 镀层表面形貌分析样品
- 腐蚀产物分析样品
- 焊接接头微观分析样品
- 复合材料界面分析样品
- 高分子材料断口分析样品
- 电池材料微观形貌分析样品
- 生物医用材料表面分析样品
检测标准（部分）
- IES SEM-11-14 IES Seminar - Light Sources & Auxiliary Devices
- IES SEM-11-IM-14 IES Seminar - Light Sources & Auxiliary Devices - Instructor's Manual
- NEMA SEM S1-2018 Small Electric Motors
- IES SEM-4-14 IES Seminar - Lighting Controls For Non-Residential Building
- GB/T 20726-2025 微束分析 扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法
- T/CIET 1253-2025 扫描电镜-能谱仪(SEM-EDS)分析技术规范
- ASTM E2809-22 Standard Guide for Using Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (SEM/EDS) in Forensic Polymer Examinations
- ISO 15632:2021 Microbeam analysis — Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)
- ASTM E3309-21 Standard Guide for Reporting of Forensic Primer Gunshot Residue (pGSR) Analysis by Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectrometry (SEM/EDS)
- ASTM E3345-26 Standard Practice for Opinions on the Interpretation of Primer Gunshot Residue (pGSR) Analysis by Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectrometry (SEM/EDS)
- ASTM E3284-23 Standard Practice for Training in the Forensic Examination of Primer Gunshot Residue (pGSR) Using Scanning Electron Microscopy/Energy Dispersive X-Ray Spectrometry (SEM/EDS)
- DIN ISO 15632:2022-09 Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA) (ISO 15632:2021)
- BS ISO 15632:2021 Microbeam analysis. Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)
- KS D ISO 15632 마이크로빔 분석 — 주사전자현미경(SEM) 또는 전자 탐침 미소분석기(EPMA)에서 사용하는 에너지 분산 엑스선 분광기(EDS)의 사양과 점검을 위해 선택한 기기 성능 파라미터
- KS D ISO 15632-2023 마이크로빔 분석 — 주사전자현미경(SEM) 또는 전자 탐침 미소분석기(EPMA)에서 사용하는 에너지 분산 엑스선 분광기(EDS)의 사양과 점검을 위해 선택한 기기 성능 파라미터
- DIN ISO 15632:2022-03 Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA) (ISO 15632:2021); Text in German and English
- GB/T 17362-2008 黄金制品的扫描电镜X射线能谱分析方法
- GB/T 25189-2010 微束分析 扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法
- GB/T 46057-2025 微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法
- GA/T 909-2010 微量物证的提取、包装方法 扫描电子显微镜/能谱法检验射击残留物
检测信息
SEM-EDS是一种结合扫描电子显微镜与能谱仪的微区形貌观察与元素成分分析技术，广泛应用于材料科学、半导体、冶金、地质、失效分析等领域。
检测目的在于获取样品表面的微观形貌特征及微区元素组成信息，涉及电子束激发、特征X射线探测及能谱解析等技术手段，可实现纳米级空间分辨率下的元素定性定量分析。
检测流程包括样品制备、真空抽气、电子束扫描、二次电子成像及能谱采集，核心参数包括加速电压（5-30kV）、束流大小、放大倍数（10-300000倍）及工作距离等。
常见问题
SEM-EDS检测需要多长时间？
SEM-EDS检测通常需要7-15个工作日，具体时间视样品数量、检测项目复杂程度及制样难度而定，加急样品可缩短至3-5个工作日。
SEM-EDS检测费用大概多少？
SEM-EDS检测费用根据检测项目数量确定，单点能谱分析、面扫描、线扫描等不同项目收费不同，常规单点能谱分析费用较低，面扫描和线扫描因采集时间长费用相对较高，具体费用需根据实际检测需求核算。
SEM-EDS检测对样品有什么要求？
SEM-EDS检测要求样品尺寸一般不超过50mm×50mm×20mm，需干燥无挥发性物质，非导电样品需喷金或喷碳处理以消除荷电效应，含液相或挥发性成分的样品需预先脱水或冷冻处理，粉末样品需分散固定在导电胶上。
SEM-EDS能检测哪些元素？
SEM-EDS可检测原子序数5（硼）至92（铀）范围内的元素，轻元素（如B、C、N、O）检测精度相对较低，常规元素检测限约为0.1%-0.5%质量分数，超轻元素需采用特殊探测器及低加速电压条件进行测试。
检测方法
- 二次电子成像法 - 利用二次电子信号获取样品表面形貌图像
- 背散射电子成像法 - 利用背散射电子信号反映样品成分衬度信息
- 能谱点分析 - 在选定微区点位置采集能谱进行元素定性定量分析
- 能谱面扫描 - 在选定区域内逐点采集能谱生成元素分布图
- 能谱线扫描 - 沿选定直线方向采集能谱分析元素浓度梯度
- 截面制样法 - 通过镶嵌研磨抛光制备截面样品用于界面分析
- 喷金制样法 - 对非导电样品表面喷镀金膜以消除荷电效应
- 喷碳制样法 - 对非导电样品表面喷镀碳膜用于轻元素分析
- 低真空模式 - 在低真空条件下直接观察含水或非导电样品
- 定量分析法 - 采用ZAF校正法计算各元素的精确含量
- 颗粒统计分析法 - 结合图像分析软件统计颗粒尺寸分布
- 伪彩色成像法 - 对不同相或元素区域赋予伪彩色以增强对比度
总结
SEM-EDS是一种结合扫描电子显微镜与能谱仪的微区形貌与元素成分分析检测，覆盖表面形貌、断口分析、微区成分定性定量及元素分布等内容。北检研究院检测中心提供该项检测服务，检测周期通常为7-15个工作日。
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旗下实验室资质
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